面向 8"/12" 晶圆厂的制造执行系统

让每一片晶圆
都有据可查

Wafetron 晶衡 MES 为 8"/12" 晶圆制造厂提供完整的制造执行能力 — 从机台联机、批次追溯到 SPC/OEE 质量管控,同一份产物支持 SaaS 与私有化部署。

Connect · 机台联机

SECS/GEM 协议栈直连机台,E10 状态秒级上报。事件驱动进站出站,无人工中转。

Track · 批次追溯

追溯链不可篡改,从建批到出货全程可回溯。谁在何时执行了哪步操作,完整记录。

Analyze · 质量计算

SPC/OEE/R&R 计算严格遵循 SEMI 标准与业界公式。数据缺失时显式标识,不填充默认值。

Control · 服务端拦截

配方白名单、保养超期、Q-Time 超时、资质校验 — 任一不通过机台自动拦截。

四大核心能力

覆盖车间管控、质量分析、设备联机、工艺优化的完整能力矩阵

Workshop Floor
WORKSHOP FLOOR
车间看板 · 一屏看全

在制 / 暂停批次实时呈现,队列仅展示可执行任务。数据源异常时显式提示,不做虚假填充。

  • Hold / 配方 / Q-Time / 保养四道闸口校验
  • 产线电视大字距,50m 外可读
  • 暂停状态基于实际记录计算
SPC
QUALITY SPC
SPC 管制图 · Western Electric 判异

X̄-R / X̄-S / X-MR 三种管制图,规格限 ≠ 管制限,管制限按最近 N 个子组重算。

  • 8 条 Western Electric 判异规则
  • Cp/Cpk 用组内 σ,Pp/Ppk 用全部读数
  • OCAP 处置没走完不能放行
OEE
EQUIPMENT OEE
设备 OEE · SEMI E79 四因子

稼动 × 运行 × 性能 × 良率 — 各因子独立溯源,不做简化估算。

  • SECS/GEM 自研,经 secsgem 独立验证
  • FDC 参数越限才告警,劣化趋势不刷屏
  • E10 履历缺失时显式标注,不做估算
APC
APC
APC 反馈控制 · 只推荐不改配方

EWMA 批次间控制 — 换机台 / 保养 / 换腔自动归零。仅推荐,不直接修改配方参数。

  • 腔口偏移追踪与补偿
  • 多腔衰减自动标定
  • 参数越限才告警,持续漂移只报一次

SaaS 与私有化 · 同一份产物

同一份产物,支持 SaaS 多租户与私有化部署。离线许可证到期仅限制新建批次,不影响在产。

✓ 推荐
SAAS · 多租户

Wafetron Cloud

一个租户一套独立 schema,数据物理隔离。2 周完成开通与主数据配置。

  • 自动升级 · 零停机
  • 自动备份 · 异地多活
  • 用量计费 · 随时停服
ON-PREMISE · 私有化

Wafetron Local

客户自己的 JDK + PostgreSQL。数据不出厂,Ed25519 离线许可证,到期只拦新建批次。

  • 单 jar 包
  • PostgreSQL 16+
  • 离线 Ed25519 许可证
1270
批次列表 RPS
1983
WIP 按工步 RPS
32×
并发压测零错误
2wk
新租户开通

行业覆盖

Wafetron 服务于 8"/12" 晶圆制造厂、特色工艺、化合物半导体与存储芯片产线

8" 晶圆制造厂 · SaaS
在制批次实时看板 · 队列状态一屏掌握

35 台设备 SECS/GEM 联机,在制 / 暂停批次秒级更新。队列仅展示可执行任务,数据源异常显式提示。

89.4%
综合 OEE
35
设备联机
12" 特色工艺 · 私有化
在制账龄看板 · 瓶颈工序日级识别

按工序均值 / P75 / P99 分层呈现批次停留时长。瓶颈识别从季度级收敛至日级,调度响应更快。

+12%
OEE 提升
-15%
在制库存
化合物半导体 · SaaS
良率与缺陷分析 · Bin 分布实时可视化

Wafer Map 与 Bin 分布一屏呈现。良率归因从人工统计转为系统自动计算,配方放行权限分离。

92.4%
Wafer Map 良率
0
配方错用事故
存储芯片 · 私有化
设备全联机 · SECS/GEM 事件秒级同步

自研 SECS/GEM 协议栈,经 secsgem 独立验证。218 个 REST 接口对接全部设备,事件驱动进站出站。

218
REST 接口
0
机台事件丢失

让每一片晶圆
都有据可查

白陶 · 153 5551 3393